微机电系统(MEMS)技术-基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

原创来源:北检院    发布时间:2024-12-13 09:00:54    点击数:

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GB/T 34893-2017

微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2017-11-01
  • 【CCS分类】L55微电路综合
  • 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学

GB/T 34893-2017

微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2017-11-01
  • 【CCS分类】L55微电路综合
  • 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学

GB/T 34893-2017

微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2017-11-01
  • 【CCS分类】L55微电路综合
  • 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学

GB/T 34893-2017

微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2023-03-17
  • 【CCS分类】L59微型组件
  • 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件

GB/T 34893-2017

半导体器件.微机电器件.第47部分:硅基MEMS制造技术.微结构弯曲强度的测量方法

  • 【发布单位或类别】 IX-IEC国际电工委员会
  • 【发布日期】2024-08-23
  • 【CCS分类】
  • 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件

检测流程

1、确认客户委托,寄样。

2、到样之后,确定具体的试验项目以及试验方案。

3、实验室报价。

4、签订保密协议,进行试验。

5、完成试验,确定检测报告

6、后期技术服务

友情提示:暂不接受个人委托测试

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实验室仪器

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