微机电系统(MEMS)技术-MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
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高新技术企业
GB/T 34898-2017
微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2017-11-01
- 【CCS分类】L55微电路综合
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
GB/T 34899-2017
微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2017-11-01
- 【CCS分类】L55微电路综合
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
20240910-T-469
微机电系统（MEMS）技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法
- 【发布单位或类别】 CN-PLAN国家标准计划
- 【发布日期】2024-04-25
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
20242839-T-469
微机电系统（MEMS）技术 柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法
- 【发布单位或类别】 CN-PLAN国家标准计划
- 【发布日期】2024-09-29
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
20242840-T-469
微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法
- 【发布单位或类别】 CN-PLAN国家标准计划
- 【发布日期】2024-09-29
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
