硅单晶中碳、氧含量的测定-低温傅立叶变换红外光谱法
GB/T 35306-2023
硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2023-08-06
- 【CCS分类】H17半金属及半导体材料分析方法
- 【ICS分类】77.040金属材料试验
GB/T 35306-2017
硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2017-12-29
- 【CCS分类】H17半金属及半导体材料分析方法
- 【ICS分类】77.040金属材料试验
GB/T 24581-2022
硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2022-03-09
- 【CCS分类】H17半金属及半导体材料分析方法
- 【ICS分类】77.040金属材料试验
GB/T 24581-2009
低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测试方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2009-10-30
- 【CCS分类】H80半金属与半导体材料综合
- 【ICS分类】29.045半导体材料
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