光掩模石英玻璃基板
GB/T 34178-2017
光掩模石英玻璃基板
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2017-09-07
- 【CCS分类】Q35石英玻璃
- 【ICS分类】81.040.30玻璃产品
GB/T 16523-1996
圆形石英玻璃光掩模基板规范
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】1996-09-09
- 【CCS分类】L90电子技术专用材料
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
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