硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
GB/T 1554-2009
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2009-10-30
- 【CCS分类】H80半金属与半导体材料综合
- 【ICS分类】29.045半导体材料
GB/T 1554-1995
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】1995-04-18
- 【CCS分类】H26金属无损检验方法
- 【ICS分类】77.040.30金属材料化学分析
GB/T 14142-2017
硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2017-09-29
- 【CCS分类】H25金属化学性能试验方法
- 【ICS分类】77.040金属材料试验
GB/T 14142-1993
硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】1993-02-06
- 【CCS分类】H26金属无损检验方法
- 【ICS分类】29.045半导体材料
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