离子束蚀刻机通用技术条件
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
GB/T 15861-1995
离子束蚀刻机通用技术条件
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】1995-12-22
- 【CCS分类】L97加工专用设备
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
GB/T 15861-2012
离子束蚀刻机通用规范
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2012-11-05
- 【CCS分类】L97加工专用设备
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
