半导体设施接口技术文件编写导则
GB/T 15873-1995
半导体设施接口技术文件编写导则
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】1995-12-22
- 【CCS分类】L97加工专用设备
- 【ICS分类】31.220.10插头和插座装置、连接器
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