电子工业用气体-硅烷(SiH4)
GB/T 15909-2009
电子工业用气体 硅烷(SiH4)
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2009-10-30
- 【CCS分类】G86工业气体与化学气体
- 【ICS分类】71.100.20工业气体
GB/T 15909-1995
电子工业用气体 硅烷(SiH4)
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】1995-12-20
- 【CCS分类】G86工业气体与化学气体
- 【ICS分类】71.100.20工业气体
GB/T 15909-2017
电子工业用气体 硅烷
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2017-05-31
- 【CCS分类】G86工业气体与化学气体
- 【ICS分类】71.100.20工业气体
T/CHBAS 26-2022
电子工业用混合气体4%氢/氮
- 【发布单位或类别】 CN-TUANTI团体标准
- 【发布日期】2022-11-30
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】71.100.20工业气体
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