制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
GB/T 36646-2018
制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2018-09-17
- 【CCS分类】L95电子工业生产设备综合
- 【ICS分类】31.220电子电信设备用机电元件
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