氮化镓外延片及衬底片通用规范
GB/T 37053-2018
氮化镓外延片及衬底片通用规范
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2018-12-28
- 【CCS分类】H83化合物半导体材料
- 【ICS分类】29.045半导体材料
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