光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
GB/T 16880-1997
光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】1997-06-20
- 【CCS分类】L97加工专用设备
- 【ICS分类】31.020电子元器件综合
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