含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
GB/T 37959-2019
含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2019-08-30
- 【CCS分类】J07电子计算机应用
- 【ICS分类】35.240.50信息技术在工业中的应用
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