含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

2024-12-21 15:47:06 阅读 检测标准
CMA资质认定

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CNAS认可证书

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ISO认证

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高新技术企业

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GB/T 37959-2019

含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2019-08-30
  • 【CCS分类】J07电子计算机应用
  • 【ICS分类】35.240.50信息技术在工业中的应用