硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

2024-12-21 23:57:36 阅读 检测标准
CMA资质认定

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CNAS认可证书

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ISO认证

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高新技术企业

高新技术企业

GB/T 17169-1997

硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】1997-12-22
  • 【CCS分类】H24金相检验方法
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

T/IAWBS 012-2019

碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法

  • 【发布单位或类别】 CN-TUANTI团体标准
  • 【发布日期】2019-12-27
  • 【CCS分类】H83化合物半导体材料
  • 【ICS分类】29.045半导体材料