微机电系统(MEMS)技术-MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
GB/T 38341-2019
微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2019-12-31
- 【CCS分类】L55微电路综合
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
20241868-T-469
微机电系统（MEMS）技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求
- 【发布单位或类别】 CN-PLAN国家标准计划
- 【发布日期】2024-06-28
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
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