掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
GB/T 17866-1999
掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】1999-09-13
- 【CCS分类】L56半导体集成电路
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
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