基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
GB/T 38614-2020
基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2020-04-28
- 【CCS分类】N10工业自动化与控制装置综合
- 【ICS分类】01.040.39精密机械、珠宝 (词汇)
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