硅片表面薄膜厚度的测试-光学反射法
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高新技术企业
GB/T 40279-2021
硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2021-08-20
- 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
- 【ICS分类】77.040金属材料试验