硅片表面薄膜厚度的测试-光学反射法

2024-12-27 05:24:36 阅读 检测标准
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GB/T 40279-2021

硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2021-08-20
  • 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
  • 【ICS分类】77.040金属材料试验