硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

2024-12-27 18:02:56 阅读 检测标准
CMA资质认定

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CNAS认可证书

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ISO认证

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高新技术企业

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GB/T 4058-2009

硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2009-10-30
  • 【CCS分类】H80半金属与半导体材料综合
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

GB/T 4058-1995

硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】1995-04-18
  • 【CCS分类】H26金属无损检验方法
  • 【ICS分类】77.040.30金属材料化学分析

GB/T 6624-2009

硅抛光片表面质量目测检验方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2009-10-30
  • 【CCS分类】H80半金属与半导体材料综合
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

GB/T 19921-2018

硅抛光片表面颗粒测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2018-12-28
  • 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
  • 【ICS分类】77.040金属材料试验

GB/T 19921-2005

硅抛光片表面颗粒测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2005-09-19
  • 【CCS分类】H17半金属及半导体材料分析方法
  • 【ICS分类】77.040.01金属材料试验综合

GB/T 6624-1995

硅抛光片表面质量目测检验方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】1995-04-18
  • 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
  • 【ICS分类】71.100化工产品

GB/T 6621-1995

硅抛光片表面平整度测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】1995-04-18
  • 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

GB/T 17169-1997

硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】1997-12-22
  • 【CCS分类】H24金相检验方法
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

YS/T 25-1992

硅抛光片表面清洗方法

  • 【发布单位或类别】 CN-YS行业标准-有色金属
  • 【发布日期】1992-03-09
  • 【CCS分类】H22金属力学性能试验方法
  • 【ICS分类】29.045半导体材料