碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定-二次离子质谱法

2024-12-28 21:43:46 阅读 检测标准
CMA资质认定

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ISO认证

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高新技术企业

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GB/T 41153-2021

碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2021-12-31
  • 【CCS分类】H17半金属及半导体材料分析方法
  • 【ICS分类】77.040金属材料试验

YS/T 1600-2023

碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

  • 【发布单位或类别】 CN-YS行业标准-有色金属
  • 【发布日期】2023-04-21
  • 【CCS分类】H17半金属及半导体材料分析方法
  • 【ICS分类】77.040.30金属材料化学分析