刻蚀机用硅电极及硅环

2024-12-29 19:53:20 24 阅读 检测标准

GB/T 41652-2022

刻蚀机用硅电极及硅环

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2022-07-11
  • 【CCS分类】H82元素半导体材料
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

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