碳化硅单晶位错密度的测试方法

2024-12-30 01:34:21 阅读 检测标准
CMA资质认定

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CNAS认可证书

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ISO认证

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高新技术企业

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GB/T 41765-2022

碳化硅单晶位错密度的测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2022-10-12
  • 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
  • 【ICS分类】77.040金属材料试验

T/IAWBS 014-2021

碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-TUANTI团体标准
  • 【发布日期】2021-09-15
  • 【CCS分类】H17半金属及半导体材料分析方法
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

GB/T 42271-2022

半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2022-12-30
  • 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
  • 【ICS分类】77.040金属材料试验

SJ/T 11499-2015

碳化硅单晶电学性能的测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-SJ行业标准-电子
  • 【发布日期】2015-04-30
  • 【CCS分类】H83化合物半导体材料
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

SJ/T 11500-2015

碳化硅单晶晶向的测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-SJ行业标准-电子
  • 【发布日期】2015-04-30
  • 【CCS分类】H83化合物半导体材料
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

SJ/T 11501-2015

碳化硅单晶晶型的测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-SJ行业标准-电子
  • 【发布日期】2015-04-30
  • 【CCS分类】H83化合物半导体材料
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

SJ/T 11504-2015

碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-SJ行业标准-电子
  • 【发布日期】2015-04-30
  • 【CCS分类】H83化合物半导体材料
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

20231108-T-469

碳化硅单晶片微管密度测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-PLAN国家标准计划
  • 【发布日期】2023-12-01
  • 【CCS分类】化合物半导体材料
  • 【ICS分类】77.040金属材料试验

20240494-T-469

碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-PLAN国家标准计划
  • 【发布日期】2024-03-25
  • 【CCS分类】化合物半导体材料
  • 【ICS分类】77.040金属材料试验

SJ/T 11503-2015

碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-SJ行业标准-电子
  • 【发布日期】2015-04-30
  • 【CCS分类】H83化合物半导体材料
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

T/IAWBS 012-2019

碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法

  • 【发布单位或类别】 CN-TUANTI团体标准
  • 【发布日期】2019-12-27
  • 【CCS分类】H83金属物理性能试验方法
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

GB/T 30866-2014

碳化硅单晶片直径测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2014-07-24
  • 【CCS分类】H83金属无损检验方法
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

GB/T 32278-2015

碳化硅单晶片平整度测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2015-12-10
  • 【CCS分类】H21化合物半导体材料
  • 【ICS分类】77.040金属材料试验

GB/T 31351-2014

碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2014-12-31
  • 【CCS分类】H26化合物半导体材料
  • 【ICS分类】77.040.99金属材料的其他试验方法

GB/T 30868-2014

碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2014-07-24
  • 【CCS分类】H83金属理化性能试验方法
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

GB/T 30867-2014

碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2014-07-24
  • 【CCS分类】H83金属理化性能试验方法
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

20231112-T-469

碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-PLAN国家标准计划
  • 【发布日期】2023-12-01
  • 【CCS分类】金属理化性能试验方法
  • 【ICS分类】77.040金属材料试验

T/CASAS 013-2021

碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法

  • 【发布单位或类别】 CN-TUANTI团体标准
  • 【发布日期】2021-11-01
  • 【CCS分类】H20/29
  • 【ICS分类】01.040词汇

T/IAWBS 016-2022

碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-TUANTI团体标准
  • 【发布日期】2022-03-17
  • 【CCS分类】H20/29
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

T/IAWBS 010-2019

碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法

  • 【发布单位或类别】 CN-TUANTI团体标准
  • 【发布日期】2019-12-27
  • 【CCS分类】H20/29
  • 【ICS分类】29.045半导体材料