微机电系统(MEMS)技术-微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
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GB/T 42158-2023
微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2023-03-17
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
IEC 62047-26:2016
半导体器件 - 微机电器件 - 第26部分:微沟槽和针结构的描述和测量方法
- 【发布单位或类别】 IX-IEC国际电工委员会
- 【发布日期】2016-01-07
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
DIN EN 62047-26
半导体器件.微机电器件.第26部分:微沟槽和针形结构的描述和测量方法（IEC 62047-26-2016）；德文版EN 62047-26:2016
- 【发布单位或类别】 DE-DIN德国标准化学会
- 【发布日期】2016-12-01
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】
DIN EN 62047-26-DRAFT
文件草稿-半导体器件-微机电器件-第26部分:微沟槽和针形结构的描述和测量方法（IEC 47F/178/CD:2013）
- 【发布单位或类别】 DE-DIN德国标准化学会
- 【发布日期】2014-05-01
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】
