碳化硅外延片表面缺陷的测试-激光散射法

2025-01-01 06:29:03 阅读 检测标准
CMA资质认定

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CNAS认可证书

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ISO认证

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高新技术企业

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GB/T 42902-2023

碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2023-08-06
  • 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
  • 【ICS分类】77.040金属材料试验

T/IAWBS 002-2017

碳化硅外延片表面缺陷测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-TUANTI团体标准
  • 【发布日期】2017-12-20
  • 【CCS分类】H20/29金属理化性能试验方法
  • 【ICS分类】29.045半导体材料