碳化硅外延层厚度的测试-红外反射法
GB/T 42905-2023
碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2023-08-06
- 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
- 【ICS分类】77.040金属材料试验
20240143-T-469
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法
- 【发布单位或类别】 CN-PLAN国家标准计划
- 【发布日期】2024-03-25
- 【CCS分类】元素半导体材料
- 【ICS分类】77.040金属材料试验
T/IAWBS 007-2018
4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-TUANTI团体标准
- 【发布日期】2018-12-06
- 【CCS分类】H82
- 【ICS分类】29.045半导体材料
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