碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试-共焦点微分干涉法
GB/T 43313-2023
碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2023-11-27
- 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
- 【ICS分类】77.040金属材料试验
T/IAWBS 012-2019
碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法
- 【发布单位或类别】 CN-TUANTI团体标准
- 【发布日期】2019-12-27
- 【CCS分类】H83化合物半导体材料
- 【ICS分类】29.045半导体材料
T/IAWBS 010-2019
碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法
- 【发布单位或类别】 CN-TUANTI团体标准
- 【发布日期】2019-12-27
- 【CCS分类】H20/29金属理化性能试验方法
- 【ICS分类】29.045半导体材料
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