碳化硅晶体材料缺陷图谱
GB/T 43612-2023
碳化硅晶体材料缺陷图谱
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2023-12-28
- 【CCS分类】H80半金属与半导体材料综合
- 【ICS分类】29.045半导体材料
T/CASAS 004.2-2018
4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱
- 【发布单位或类别】 CN-TUANTI团体标准
- 【发布日期】2018-11-20
- 【CCS分类】H20/29金属理化性能试验方法
- 【ICS分类】31.080.01半导体器分立件综合
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