半导体晶片近边缘几何形态评价-第1部分：高度径向二阶导数法(ZDD)
GB/T 43894.1-2024
半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-04-25
- 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
- 【ICS分类】77.040金属材料试验
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