300-mm半导体设备装载端口要求
GB/T 44375-2024
300mm半导体设备装载端口要求
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-08-23
- 【CCS分类】L97加工专用设备
- 【ICS分类】31.260光电子学、激光设备
SJ/T 11761-2020
200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
- 【发布单位或类别】 CN-SJ行业标准-电子
- 【发布日期】2020-12-09
- 【CCS分类】L95电子工业生产设备综合
- 【ICS分类】29.045半导体材料
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