300-mm半导体设备装载端口要求

2025-01-04 00:32:35 阅读 检测标准
CMA资质认定

CMA资质认定

CNAS认可证书

CNAS认可证书

ISO认证

ISO认证

高新技术企业

高新技术企业

GB/T 44375-2024

300mm半导体设备装载端口要求

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2024-08-23
  • 【CCS分类】L97加工专用设备
  • 【ICS分类】31.260光电子学、激光设备

SJ/T 11761-2020

200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

  • 【发布单位或类别】 CN-SJ行业标准-电子
  • 【发布日期】2020-12-09
  • 【CCS分类】L95电子工业生产设备综合
  • 【ICS分类】29.045半导体材料