微机电系统(MEMS)技术-传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
GB/T 44513-2024
微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-09-29
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
IEC 62047-37:2020
半导体器件微机电器件第37部分:传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
- 【发布单位或类别】 IX-IEC国际电工委员会
- 【发布日期】2020-04-28
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】31.140频率控制和选择用压电器件与介质器件
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