微机电系统(MEMS)技术-MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法
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高新技术企业
GB/T 44515-2024
微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-09-29
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
GB/T 44513-2024
微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-09-29
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
GB/T 44849-2024
微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-10-26
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
GB/T 34894-2017
微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2017-11-01
- 【CCS分类】L55微电路综合
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
GB/T 34900-2017
微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2017-11-01
- 【CCS分类】L55微电路综合
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
GB/T 34893-2017
微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2017-11-01
- 【CCS分类】L55微电路综合
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
GB/T 42158-2023
微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2023-03-17
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
20242840-T-469
微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法
- 【发布单位或类别】 CN-PLAN国家标准计划
- 【发布日期】2024-09-29
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
IEC 62047-30:2017
半导体器件 - 微机电器件 - 第30部分:MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法
- 【发布单位或类别】 IX-IEC国际电工委员会
- 【发布日期】2017-09-15
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】31.140频率控制和选择用压电器件与介质器件
IEC 62047-42:2022
半导体器件.微机电器件.第42部分:压电MEMS悬臂梁的机电转换特性的测量方法
- 【发布单位或类别】 IX-IEC国际电工委员会
- 【发布日期】2022-09-16
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
20240911-T-469
微机电系统（MEMS）技术 玻璃浆料键合强度的微型V形试验（MCT）测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-PLAN国家标准计划
- 【发布日期】2024-04-25
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
DIN EN 62047-30-DRAFT
文件草稿-半导体器件-微机电器件-第30部分:MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法（IEC 47F/241/CD:2016）
- 【发布单位或类别】 DE-DIN德国标准化学会
- 【发布日期】2016-08-01
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】
