微机电系统（MEMS）技术-金属膜材料成形极限测量方法
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GB/T 44849-2024
微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-10-26
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
IEC 62047-14:2012
半导体器件 - 微机电器件 - 第14部分:金属膜材料的成形极限测量方法
- 【发布单位或类别】 IX-IEC国际电工委员会
- 【发布日期】2012-02-28
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
BS 10/30232073 DC
英国标准EN 62047-14 半导体器件 微机电系统 第14部分 金属薄膜材料成形极限测量方法
- 【发布单位或类别】 GB-BSI英国标准学会
- 【发布日期】2010-07-19
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】
