硅抛光片表面平整度测试方法

2025-01-12 12:57:06 阅读 检测标准
CMA资质认定

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CNAS认可证书

CNAS认可证书

ISO认证

ISO认证

高新技术企业

高新技术企业

GB/T 6621-1995

硅抛光片表面平整度测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】1995-04-18
  • 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

GB/T 19921-2018

硅抛光片表面颗粒测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2018-12-28
  • 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
  • 【ICS分类】77.040金属材料试验

GB/T 19921-2005

硅抛光片表面颗粒测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2005-09-19
  • 【CCS分类】H17半金属及半导体材料分析方法
  • 【ICS分类】77.040.01金属材料试验综合

SJ/T 11503-2015

碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-SJ行业标准-电子
  • 【发布日期】2015-04-30
  • 【CCS分类】H83化合物半导体材料
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

GB/T 17169-1997

硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】1997-12-22
  • 【CCS分类】H24金相检验方法
  • 【ICS分类】29.045半导体材料