硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
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CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
GB/T 24575-2009
硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2009-10-30
- 【CCS分类】H80半金属与半导体材料综合
- 【ICS分类】29.045半导体材料
