微机电系统(MEMS)技术-术语
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高新技术企业
GB/T 26111-2023
微机电系统（MEMS）技术 术语
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2023-05-23
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
GB/T 26111-2010
微机电系统(MEMS)技术 术语
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2011-01-10
- 【CCS分类】L55微电路综合
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
GB/T 36285-2018(\u82f1\u6587\u7248)
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2018-06-07
- 【CCS分类】微型组件
- 【ICS分类】其他半导体分立器件
GB/T 44515-2024
微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-09-29
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
GB/T 42597-2023
微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2023-05-23
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
GB/T 44839-2024
微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-10-26
- 【CCS分类】L59微电路综合
- 【ICS分类】31.080.99集成电路、微电子学
GB/T 26112-2010
微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2011-01-10
- 【CCS分类】L55微电路综合
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
GB/T 38447-2020
微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2020-03-06
- 【CCS分类】L55微型组件
- 【ICS分类】31.200其他半导体分立器件
GB/T 44529-2024
微机电系统（MEMS）技术 射频MEMS环行器和隔离器
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-09-29
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99集成电路、微电子学
GB/T 42895-2023
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2023-08-06
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
GB/T 42896-2023
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2023-08-06
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.200其他半导体分立器件
GB/T 44513-2024
微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-09-29
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
GB/T 44842-2024
微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-10-26
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99集成电路、微电子学
GB/T 42897-2023
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2023-08-06
- 【CCS分类】L59微电路综合
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
GB/T 34898-2017
微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2017-11-01
- 【CCS分类】L55微电路综合
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
GB/T 26113-2010
微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2011-01-10
- 【CCS分类】L55微电路综合
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
GB/T 38341-2019
微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2019-12-31
- 【CCS分类】L55微型组件
- 【ICS分类】31.200其他半导体分立器件
GB/T 44849-2024
微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-10-26
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
GB/T 44514-2024
微机电系统（MEMS）技术 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-09-29
- 【CCS分类】L59微型组件
- 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件
GB/T 44531-2024
微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2024-09-29
- 【CCS分类】L59
- 【ICS分类】31.080.99
