微机电系统(MEMS)技术-微几何量评定总则

2025-01-16 16:11:41 阅读 检测标准
CMA资质认定

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CNAS认可证书

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ISO认证

ISO认证

高新技术企业

高新技术企业

GB/T 26113-2010

微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2011-01-10
  • 【CCS分类】L55微电路综合
  • 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学

GB/T 26112-2010

微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2011-01-10
  • 【CCS分类】L55微电路综合
  • 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学

GB/T 44839-2024

微机电系统(MEMS)技术 MEMS材料微柱压缩试验方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2024-10-26
  • 【CCS分类】L59微型组件
  • 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件

GB/T 42158-2023

微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2023-03-17
  • 【CCS分类】L59微型组件
  • 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件

20242840-T-469

微机电系统(MEMS)技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法

  • 【发布单位或类别】 CN-PLAN国家标准计划
  • 【发布日期】2024-09-29
  • 【CCS分类】
  • 【ICS分类】31.080.99其他半导体分立器件