利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

2025-01-19 07:15:34 阅读 检测标准
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GB/T 27760-2011

利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2011-12-30
  • 【CCS分类】N04基础标准与通用方法
  • 【ICS分类】19.020试验条件和规程综合