硅片平整度、厚度及总厚度变化测试-自动非接触扫描法
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
GB/T 29507-2013
硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2013-05-09
- 【CCS分类】H80半金属与半导体材料综合
- 【ICS分类】29.045半导体材料
ASTM F1530-94
用自动非接触扫描法测量硅片平整度和厚度变化的标准试验方法
- 【发布单位或类别】 US-ASTM美国材料与试验协会
- 【发布日期】1994-01-01
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】29.045半导体材料
