碳化硅单晶片微管密度的测定-化学腐蚀法
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高新技术企业
GB/T 30868-2014
碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2014-07-24
- 【CCS分类】H83化合物半导体材料
- 【ICS分类】29.045半导体材料
