电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
GB/T 10067.417-2023
电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2023-05-23
- 【CCS分类】K61工业电热设备
- 【ICS分类】25.180.10电炉