电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置

2025-02-18 20:31:13 阅读 检测标准
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高新技术企业

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GB/T 10067.417-2023

电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2023-05-23
  • 【CCS分类】K61工业电热设备
  • 【ICS分类】25.180.10电炉