硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
GB/T 13388-1992
硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】1992-02-19
- 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
- 【ICS分类】29.045半导体材料
GB/T 13388-2009
硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2009-10-30
- 【CCS分类】H80半金属与半导体材料综合
- 【ICS分类】29.045半导体材料
