电子工业用气体 氦
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
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国家 标准 |
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GB/T 16943-2009 |
现行 |
| 国际标准分类号(ICS) 71.100.20 中国标准分类号(CCS) G86 |
英文标题
Gas for electronic industry - Helium
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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国家 标准 |
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GB/T 16943-1997 |
废止 |
| 国际标准分类号(ICS) 71.100.20 中国标准分类号(CCS) G86 | 采 |
英文标题
Gases for electronic industry--Helium
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
采标关系
等同SEMI C3.20:1992(1995)