电子工业用气体 六氟化硫
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
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国家 标准 |
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GB/T 18867-2014 |
现行 |
| 国际标准分类号（ICS） 71.100.20 中国标准分类号（CCS） G86 |
英文标题
Gases for electronic industry―Sulphur hexaflouride
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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国家 标准 |
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GB/T 18867-2002 |
废止 |
| 国际标准分类号（ICS） 71.100.20 中国标准分类号（CCS） G86 | 采 |
英文标题
Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
采标关系
非等效SEMI C3.24:1995
