洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
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国家 标准 |
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GB/T 25915.10-2021 |
现行 |
| 国际标准分类号（ICS） 13.040.35 中国标准分类号（CCS） C70 | 采 |
英文标题
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
归口单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
采标关系
等同ISO 14644-10:2013
