洁净室及相关受控环境 第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性

2025-03-21 07:11:31 阅读 检测标准
CMA资质认定

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ISO认证

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高新技术企业

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英文标题
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration
归口单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
采标关系
等同ISO 14644-15:2017