洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
|
国家 标准 |
|
GB/T 25915.17-2024 |
现行 |
| 国际标准分类号（ICS） 13.040.35 中国标准分类号（CCS） C70 | 采 |
英文标题
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 17: Particle deposition rate applications
归口单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
采标关系
等同ISO 14644-17:2021
