表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定

2025-04-13 01:43:19 阅读 检测标准
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英文标题
Surface chemical analysis―Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
归口单位
全国表面化学分析标准化技术委员会
采标关系
等同ISO 17331:2004