氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法

2025-04-14 19:16:28 阅读 检测标准
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英文标题
Test method for disoclation density of GaN single crystal—Cathodoluminescence spectroscopy
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会