硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
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国家 标准 |
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GB/T 32814-2016 |
现行 |
| 国际标准分类号（ICS） 31.200 中国标准分类号（CCS） L55 |
英文标题
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
