硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
原创来源：北检院 发布时间：2025-04-22 12:32:45 点击数：
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国家 标准 |
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GB/T 39145-2020 |
现行 |
| 国际标准分类号（ICS） 77.040 中国标准分类号（CCS） H17 |
英文标题
Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
检测流程
1、确认客户委托，寄样。
2、到样之后，确定具体的试验项目以及试验方案。
3、实验室报价。
4、签订保密协议，进行试验。
5、完成试验，确定检测报告
6、后期技术服务
友情提示：暂不接受个人委托测试
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