表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
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国家 标准 |
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GB/T 40110-2021 |
现行 |
| 国际标准分类号（ICS） 71.040.40 中国标准分类号（CCS） G04 | 采 |
英文标题
Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
归口单位
全国表面化学分析标准化技术委员会
采标关系
等同ISO 14706:2014
